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Ch.1) 쉬운 요약 - 반도체의 구조와 성장

1. 반도체 재료 (Semiconductor Materials)반도체는 전기가 흐르기도 하고 안 흐르기도 하는 중간 성질의 물질이다. 대표적인 재료는 실리콘(Si)과 게르마늄(Ge) 같은 원소 반도체가 있고, 갈륨비소(GaAs) 같은 화합물 반도체도 많이 쓰인다. 실리콘은 스마트폰, 컴퓨터, 전자제품 대부분에 사용된다. 반도체 재료는 쓰이는 목적에 따라 다르며, 예를 들어 빛을 잘 다루는 재료는 카메라나 LED에 쓰인다.-2. 고체 속 원자 배열 (Crystal Lattices)고체 속 원자들은 대부분 반복되는 규칙적인 구조를 이룬다. 이를 결정 구조라고 한다. 원자 배열 방식에는 세 가지가 있다: 결정질: 원자가 정돈되어 있는 구조 다결정: 작은 결정들이 모여 있는 구조 비정질: 원자들이 ..

Ch.1) 02 - 실리콘 단결정 웨이퍼 제조, Bulk, Epitaxial Growth

1. Bulk Crystal Growth (벌크 단결정 성장)1.1 고순도 실리콘 제조 과정원료: Quartzite (SiO₂) + SiC1단계 환원\[\text{SiO}_2 + \text{SiC} \rightarrow \text{Si} + \text{SiO} + \text{CO}\]→ MGS (Metallurgical Grade Silicon, 약 98% 순도)2단계 정제 (기화-환원)\[\text{Si} + 3\text{HCl} \rightarrow \text{SiHCl}_3 + \text{H}_2\]→ SiHCl₃: 액상 트리클로로실란3단계 환원\[\text{SiHCl}_3 + \text{H}_2 \rightarrow \text{Si} + \text{HCl}\]→ 전자 등급 실리콘 (EGS, 99...

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